單晶爐用螺桿真空泵組

性能優勢 Performance Advantages

· 無油氣污染工藝設備，可獲得清潔零件表面；

· 被抽氣體不會被污染，為期可進行回收利用；

· 無油氣、油煙等有害氣體排放，有利于環境保護；

· 避免因泵腔內潤滑油乳化、變質而出現的運行故障，提高了系統的穩定性；

· 可單獨使用，進氣壓力在1Pa至大氣壓下均能正常工作，抽氣效率高，可大幅度簡化真空系統；

· 機組可作為前級泵使用，與羅茨泵、分子泵等組合成多級無油真空機組，以獲得更大與更高的真空度；

· 轉子間無接觸、無磨損，零件損耗小，使用壽命長；

· 泵腔內采用間隙密封，對少量粉塵不敏感；

· 智能控制模式，實時監測設備運行狀態，并針對異常情況做出報警；

· 模塊化設計，整機體積小，方便移動；

· 可變頻運行，節能效果好；

· 采用一體化水冷電機設計，運行噪音低，震動??；

機組內容  Unit Content